원자간력 현미경(ＡＦＭ)을 이용한 딥-펜 나노리소그래피에서의 단일 또는 다중팁을 이용한 나노포지셔닝 기판 제조장치 및 제조방법

Abstract

본 발명은 원자간력 현미경 이미징 수행방법인 딥-펜 나노리소그래피 기술에 관한 것으로, 더 상세하게는, 딥-펜 나노리소그래피에서의 단일 또는 다중팁을 이용한 잉크 시스템의 나노포지셔닝 기판 제조장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따르면, 원자간력 현미경 이미징 수행 방법에 있어서, 팁을 잉크로 코팅하는 제 1 잉크저장부 및 제 2 잉크저장부와, 잉크가 코팅된 팁을 세척하는 제 1 세척부 및 제 2 세척부와, 팁을 기판에 새기는 패턴 색인부와, 전압을 걸어주는 전극 연결부와, 코팅된 팁이 ㎛ 스케일의 면적에서 위치를 확인하거나 위치를 결정하는 위치 확인부를 포함하고, 상기 위치 확인부는, 전압-전류의 변화, 전압에 따른 AFM 팁의 휨정도, AFM 이미지를 통해 위치를 확인하도록 구성되어, 원자간력 현미경 팁의 위치 재현성을 이용하여 다중 바이오 물질을 기판에 집적함으로써, ㎛ 스케일의 면적에서 바이오 물질의 밀도를 높일 수 있는 딥-펜 나노리소그래피에서의 단일 또는 다중팁을 이용한 잉크 시스템의 나노포지셔닝 기판 제조장치 및 그 방법이 제공된다.