역 임프린트 방식을 이용한 패터닝 방법
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 신용범 | ko |
| dc.contributor.author | 이기중 | ko |
| dc.date.accessioned | 2017-04-19T11:50:17Z | - |
| dc.date.available | 2017-04-19T11:50:17Z | - |
| dc.date.issued | 2013-03-07 | ko |
| dc.identifier.other | B29C 59/02(2013.04), B29C 33/42(2015.11) | ko |
| dc.identifier.uri | https://oak.kribb.re.kr/handle/201005/14650 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 역 임프린트 방식을 이용한 패터닝 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 패터닝 방법은 미세 패터닝 공정을 단순하고 효과적으로 수행할 수 있으며, 전사된 패턴에 잔류층이 남지 않아 잔류층을 제거하기 위한 후속 공정의 수행없이 기판에 패터닝할 수 있는 효과가 있다. | ko |
| dc.publisher | 한국생명공학연구원 | ko |
| dc.relation.haspart | 952 | ko |
| dc.title | 역 임프린트 방식을 이용한 패터닝 방법 | ko |
| dc.title.alternative | Patterning method using reversal imprint process | ko |
| dc.type | Patent | ko |
| dc.identifier.islink | http://link.kipris.or.kr/link/main/FullDoc.jsp?reg_key=4jLn6RaAi84A7NL71xinaQ%3D%3D=&APPLNO=1020130024646 | ko |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2013-0024646 | ko |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1575879-0000 | ko |
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