다채널 유량 제어장치

Abstract

본 발명은 순환관을 통해 유체를 공급받는 복수개의 용기; 상기 용기에 설치되어 용기의 변화되는 중량값을 측정하는 측정장치; 및 상기 측정장치에서 측정된 신호에 따라 적어도 하나의 용기를 선택하여 상기 용기로 공급되는 유체의 양을 제어하는 유량제어수단; 을 포함하는 다채널 정밀 유량제어장치에 관한 것이다.본 발명은 서로 연결된 복수개의 용기에 유체를 제어하는 다채널 유량 제어방법에 있어서, 상기 복수개의 용기에 유체를 공급하여 저장하는 유체공급단계; 데이터베이스부에 입력중량값을 입력하여 저장하는 입력중량값 저장단계; 측정장치로 상기 복수개의 용기의 중량을 측정한 후 신호처리부로 신호를 전달하는 신호처리단계; 상기 신호처리부에서 처리된 신호는 비교연산부로 전달되어 상기 입력중량값과 비교연산하는 비교연산 단계; 및 상기 비교연산부에서 처리된 비교연산값에 따라 적어도 하나의 순환관을 선택하는 순환관 선택단계; 를 포함하는 다채널 정밀 유량제어방법에 관한 것이다.